产品介绍
双等离子体的组合可以用于获得二维等离子体阵列。单个源以及2个，4个和8个平行排列的等离子体可用于等离子体辅助表面处理，如表面活化，蚀刻和沉积。双等离子体是不使用磁场的直接微波等离子体源。在简化的描述中，它类似于由微波激发的反向发光管，双等离子体通常在约1000pa至10pa的低压下操作。由两个磁控管产生的具有2.45ghz频率的微波在两端被馈送到等离子体线中。在外部低压状态下放电点火，随着微波功率的增加，等离子体从沿着管的两端增长，并且形成轴向均匀的等离子体。
低压微波等离子体源
可扩展和紧凑的设计
大面积应用
高等离子体密度
高效率
低伤害
轻松适应定制系统
规格参数
频率：915mhz / 2450mhz / 5800mhz
hf-输入功率：典型2 kw/ m @ 1 mbar
波导：同轴8/26
过程压力：典型值0.1 mbar - 1 mbar
等离子体密度：在2450mhz时高达1012/ cm3
典型的过程气体：aro 2，n 2 h 2，nh 3，sih 4，hmdso
电子温度：~2ev
同质性：优于5％
材料：
腔室：铝
气体喷淋：铝
等离子体源：石英，al2o3
冷却：水/空气合并
连接器：
同轴8/26（微波）
接头套管（水，空气，气体）
尺寸：客户特定
mw电源元件
muegge短路活塞mw2009d-260ed
上海连航机电科技有限公司的业务所涉及的产品品类众多、应用广泛，同类可互换产品选择多样化，专业技术团队和销售服务团队可以满足客户关于产品选购、加拿大28的技术支持、项目集成等全方位的需求。主要产品品类有：物理参数检测测量、自动化与工业it、液压、气动、分析仪器、实验室设备、制动传动设备、电器元件、机床、工具、物流设备、工业机器、成套设备等。
