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产品介绍
更换 kf 定心环，便于安装。用于在初始抽空期间对低真空泵进行节流。当低真空泵运行时，初始流量会导致叶片组件关闭——自动对泵进行节流。当达到设定的压差时，阀门会自动打开。
性能特点
- 304 不锈钢结构，带 elgiloy 弹簧
- 温度100°c
- 通过降低初始抽速来减少系统中的湍流*
- 非常适合对系统内颗粒破坏敏感的应用（半导体、薄膜等）
- 在对系统进行排气时，也可与排气阀一起使用，以避免过高压差和高湍流
- 有助于防止基材损坏
- 取代昂贵的压力控制旁通阀
- 在测试期间12 毫秒快速关闭叶片 或更好**
- 无需电源即可运行
*使用软启动止回阀的典型抽空时间增加了 3 倍。
**测试时间使用 27 cfm 泵抽空 100 升的体积测量。结果会因系统配置而异。
技术参数
产品尺寸
