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产品介绍
用于三维坐标测量的纳米定位和纳米测量机工作在 25 mm x 25 mm x 5 mm 的测量范围内，分辨率为 0.1 nm。特殊的传感器布置确保在所有三个坐标轴上进行无误差测量. 三个带有用于长度测量的平面镜反射器的微型干涉仪的测量轴在接触式传感器与测量对象的接触点处几乎相交。测量对象直接位于可移动的镜角上。镜角的位置由三个固定的微型干涉仪记录。镜角采用三轴驱动系统定位。定位过程中的角度偏差通过两个角度传感器进行测量和校正。
性能特点
高精度的3d多传感器定位和测量系统
在所有三个测量轴上都实现了阿贝比较器原理
可选的探测系统用作零指示器并且是可互换的
技术参数
