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产品介绍
vaporsorb系列混合化学空气过滤器旨在为 22 纳米以下节点的先进半导体制造环境提供保护。 entegris vaporsorb 过滤器有助于降低高流量设施应用中不需要的空气分子污染 (amc) 水平。 entegris vaporsorb fac 过滤器可针对任何类型的空气处理装置安装进行配置，并且特别适合补充空气 (mua) 和回风处理 (rah) 应用。 entegris vaporsorb fac 过滤器使用我们广泛的洁净室环境水平数据库设计，以提供大的效率和污染物去除。
性能特点
提供保护，防止强酸和弱酸以及有机物和碱（如氨），减少晶圆缺陷，提高产量并延长设备正常运行时间
具有优化的吸附剂混合物的特定应用过滤器针对并去除每个工艺工具关注的污染物，大限度地减少介质浪费并延长使用寿命
任何 ffu、工具内、设备工厂接口或过程模块安装的灵活配置简化了安装和集成
entegris 拥有的过滤器制造为特定于晶圆厂的优化介质提供快速周转
技术参数
