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产品介绍
chambergard bgn 扩散器使用烧结镍过滤器元件快速扩散进入的气流，使负载锁定和/或传输室以更高的速度填充，而不会产生颗粒干扰或过度湍流。 bgn 扩散器的高保持性镍元素可去除进入气体中的亚微米颗粒污染物并迅速排放到大气中，从而减少晶圆缺陷并缩短循环时间。 bgn 扩散器旨在满足平板显示器和 300 毫米工具客户的需求，以提升效率、缩短腔室排气时间并提高产量。 凭借我们的全球基础设施，我们可以提供 chambergard bgn 快速通风扩散器，以满足您在全球范围内的需求。
性能特点
烧结镍技术可在所有应用中提供良好的性能
设计能够从进入的气体中去除大于 0.0015 µm 的颗粒，从而大限度地减少晶圆缺陷
易于安装/改装到现有工具中，大限度地减少停机时间
技术参数
