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产品介绍
用于薄膜沉积监测器和控制器的石英传感器，包括 intellimetrics 和 satis 仪器。
这些 6.000 mhz at 切割石英晶体由 phillip technologies 设计，用于薄膜沉积工艺。它们采用光学抛光表面和双锚电极布局，具有高的稳定性、低噪音，并与 intellimetrics、satis 和其他需要这种电极几何形状的沉积监测系统兼容。
性能特点
- 光学抛光可显著提高频率稳定性。
- 通过更大限度地减少表面散射和边缘缺陷来降低噪声。
- 它还能降低污染风险，尤其是在高灵敏度光学和半导体应用中。
可选功能与配件
金 (au)：适合腐蚀性和化学活性环境；高惰性且兼容性广
银 (ag)：提供高的 q 值和低的噪音；是高精度真空工作的理想选择
铝 (al)：具有优良的热稳定性和较低的热应力；非常适合高温或铝膜工艺
不确定该选择哪种？金是大多数应用的安全、通用的选择。
技术参数
产地：美国
材质：纯二氧化硅单晶，电子级石英
尺寸：外径 0.550 英寸 .000/-.002 英寸
轮廓：平凸
表面处理：光学抛光
缺陷：13.95 毫米直径通光孔径内无碎片、划痕或蚀刻痕迹
电极：inficon 银质图案，含氧反应中间层，可提高薄膜完整性
谐振频率：5.996-6.002 mhz，基波串联谐振
电阻：<15 欧姆，镀层
接触电阻：<10 欧姆（图案侧边到边）
杂散模式：first非谐波 >150 khz 高于基波
电极错位：无
着色不均匀：无
图案偏离中心：无
划痕、磨损或蚀刻痕迹：无
碎片或裂纹：无
