python 降低了 oled 平板显示器生产中低温多晶硅退火的成本,提高了产量。这是通过使用高可靠性、二极管泵浦、固态激光技术来准确复制 vyper 准分子激光器的输出来实现的,包括脉冲能量、重复率、光束大小和光束强度分布。python适用于现有的相干linebeam 750、1000、1300和1500系统,几乎无需修改现有的ela流程。这可确保轻松过渡到这种可靠性更高、成本更低的激光源。
高可靠性
运行成本降低 50 %
无需更改记录工艺
高能量稳定性
产地:美国
零件编号:2270257
波长:355 nm
max稳定脉冲能量:2000 mj
max稳定平均功率:1200 w
max重复率:600 hz
能量总和稳定性(sigma):≤ 0.25 %
脉冲持续时间(fwhm):30 ± 5 ns
光束尺寸(fwhm,v x h):35 ± 4 x 14.5 3 / - 6 mm²
光束发散(fwhm,v x h):4.5 ± 1 x 1.0 ± 0.3 mrad²
重量:≤ 4400 kg;9700 磅
冷却:水,max 2 x 70 升/分钟(2 x 18.5 gal./min),10 至 13 ℃
电气:2 x 36 kva,三相,400 vac,50 或 60 hz
尺寸(长x宽x高):2800 x 1700 x 1720 mm;110.0 x 66.9 x 67.7 英寸
激光退火
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