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产品介绍
tem-tech是一家深耕半导体与制造领域的传感器厂商，其工艺气体压力传感器专门面向高纯、腐蚀性气体和真空环境设计。工艺气体用压力传感器，是把工艺气体压力转换成标准电信号输出的测量装置，核心是为半导体、真空镀膜、高纯气体供气等场景提供准确、稳定、洁净的压力监测与闭环控制信号。
性能特点
在气体供应管线（cc、vmb、bsgs）中发挥作用
与传统产品相比，稳定性得到提升
高耐腐蚀哈氏合金隔膜压力传感器
-0.1或0~0.5、1、2、3.5、20、25、35 mpa
接触气体部件采用哈氏合金c-22、sus316l
气瓶柜、vmb、气体控制面板
±0.3 %f.s.的高精度
适用于气体供应设施
可应对35 mpa的高压范围
可在现场进行零点校准
无封装液的干式传感器
选型指南
可选功能与配件
电流/电压输出、vcr/ujr等多种选择
可制造表压和总压两种类型
技术参数
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产地 |
日本 |
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形状 |
s型 |
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基准压力范围 |
0 (-0.1) — 0.5、1、2、3.5、20、25、35 mpa |
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＜20 mpa允许max压力 |
额定压力×2倍 |
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20 mpa允许max压力 |
额定压力×1.5倍 |
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电源电压 |
dc 24 v ± 10 % |
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输出信号 |
4 至 20 madc（两线制） |
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综合精度 |
±0.3％f.s.（含线性度、滞后、重复性） |
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密封方法 |
电子束焊接 |
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泄漏量 |
< 5×10-12 pa·m³/sec |
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内表面粗糙度 |
ra:<0.25 μm |
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max功耗 |
0.5 w |
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使用温度范围 |
0 至 60 ℃（无结冰、无结露） |
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储存温度范围 |
0 至 80 ℃（无结冰、无结露） |
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温度特性 |
± 0.05 ％f.s./℃ |
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防护等级 |
ip55（室内） |
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电缆引出 |
可拆卸式多治见连接器 |
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接头形状 |
外螺纹（车削而成） |
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接头尺寸 |
1/4 " |
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接头类型 |
符合vcr标准 |
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接触气体部件材质 |
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隔膜 |
哈氏合金 (c-22) |
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传感器主体 |
sus316l |
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附带电缆 |
3 m 标准（2芯＋屏蔽线） |
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重量 |
约120 g（不含电缆） |
产品尺寸
产品应用
半导体工艺气体用
