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产品介绍
lia系列直线光栅尺精度高且易于使用。自带2场epiflex读数模块，也适用于恶劣的应用环境。
性能特点
- 带epiflex读数模块（2场扫描）
- 个性化的配置
- 1 vpp或rs 422输出信号
- 多达100倍的细分信号
- 最小测量步距仅50 nm
- 运动速度达10 m/s（1 vpp）
- 2场扫描，更强抗污能力
- 支持多种安装方式，灵活地安装
- 丰富的辅件
