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entegris 采用创新的流量控制技术解决当今流量控制的难题。invue 集成流量控制器 (ifc) nt6510 专为超纯液体化学品、去离子水和 cmp 泥浆的使用点化学品混合和分配而设计。nt6510 控制器还设计用于有效控制产生气泡的介质,专为需要中低流量的应用而设计。它是目前较小的 invue 集成流量控制器,为液体处理系统节省了宝贵的空间。我们的 ifc 采用成熟可靠的压差流量测量技术和新型的闭环过程控制。可视化指示器可为预防性维护、故障排除和报警条件提供诊断,使用户能够集成更准确的功能。阀座和隔膜的设计可大限度地减少死体积和流体剪切力,从而降低工艺污染的可能性。invue ifc 的润湿部件采用氟化材料,是保护化学完整性的适配选择。此外,耐化学腐蚀的非润湿部件在恶劣的化学环境中也能发挥优良的性能。invue ifc 采用双聚四氟乙烯阀隔膜,用于流体密封和污染保护。利用电动阀和流量计技术,封装的内部电子元件可控制流量控制器的所有方面。这些装置由设定点信号(例如 4 - 20 ma、0 - 10 vdc)激活,以将流体流量保持在所需的设定点。
与其他常用技术相比,在易产生气泡的介质中精度高
内置压力传感器,可同时进行流量和压力双输出
占地面积小,节省空间,易于安装
重复性高,可实现优良的过程控制
快速响应,实现准确的分配率
led 状态和离散报警输出
产地:美国
润湿部件材质:
阀体、阀膜: ptfe;
传感器接口: ctfe 或 pfa;
主 o 形圈: perfrez pxc ultra
非润湿部件:聚丙烯、pvdf、viton、聚氨酯和尼龙(除上述材料外)
工作范围%:满量程流量的 10 至 100
流量控制精度:± 全量程的 1 %(使用 23 °c [73 °f] 的去离子水校准)
重复性:± 0.5 % 满量程
压力测量:0 至 414 kpa (0 至 60 psig)
压力精度:± 全量程的 1 %
工作压力:69 至 414 kpa (10 至 60 psig)
min差压要求:10 psi,差压
输出信号:两个 4 至 20 ma 电气隔离输出,一个用于流量,一个用于压力
响应时间:< 3 秒
过压限制:690 kpa (100 psig)
过程温度:10 至 65 °c (50 至 149 °f)
电气输入:24 vdc(± 10 %),1.2 a
设定点输入信号:4 - 20 ma、0 - 10 vdc、0 - 5 vdc
外壳:ip64
重量:约 1.8 kg(4.0 磅)
符合认证:ce
软件:基于 windows 的界面,用于用户设置、校准、监控和数据收集
系统要求:windows 7 或 10,8gb 内存(min)
当前软件版本 invue techtool 1.0.1.3
关键分配应用、化学品添加和混合、按需化学混合
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