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产品介绍
具有增强耐高温性能的石英传感器，适用于 ulvac 和 sloan 仪器。
这些 5,000 mhz rc（辐射补偿）石英晶体由飞利浦科技公司 (phillip technologies) 制造，以满足 ulvac 和 sloan 薄膜沉积系统的严苛要求。这些晶体直径紧凑，仅为 12.5 毫米，双面均采用全表面电极涂层，是需要全表面接触的系统中高精度薄膜监测的理想选择。
由我们的cto scott grimshaw 开发的 rc 晶体技术增强了抗热辐射性能，从而能够在薄膜沉积过程中实现非常准确的测量。与传统的 at 切割晶体不同，rc 晶体对源辐射或薄膜应力引起的频率偏移不敏感，即使在剧烈溅射或热循环过程中也能确保可靠的数据。
性能特点
- 辐射补偿 (rc) 设计：减轻热辐射和薄膜应力引起的频率偏移，消除快门操作期间的速率峰值。
- 高温稳定性：在高达 300°c 的温度下仍能可靠运行，适用于 ald、cvd 和 ovpd 等高温工艺。
- 全表面电极涂层：确保专为全表面电接触设计的传感器头实现接触和信号稳定性。
- 紧凑型 5 毫米直径：兼容需要较小晶体尺寸的 ulvac 和 sloan qcm 系统。
可选功能与配件
我们提供以下涂层，以匹配您的沉积环境：
金 (au)：化学惰性且热稳定性高——非常适合原子层沉积 (ald)、腐蚀性蒸汽工艺和有机薄膜生长。
银 (ag)：提供高的 q 值；适合高要求的真空工艺。
铝 (al)：适用于高温和铝膜应用。
所有电极均采用真空沉积工艺，并经过表面完整性和边缘均匀性的质量检查。
技术参数
产地：美国
材质：纯二氧化硅单晶，电子级石英
尺寸：外径 12.5 毫米
轮廓：平凸
表面光洁度：平面和轮廓面粗糙度均方根值 7 微米
缺陷：直径 12 毫米的通光孔径内无碎片、划痕或蚀刻痕迹
电极：采用“ulvac”图案化金，并带有氧反应中间层
谐振频率：4.990-4.999 mhz，基波串联谐振
电阻：<40 ohms，镀层
接触电阻：<10 ohms，图案侧边到边
杂散模式：first非谐波 >150 khz，高于基波
重量：0.05 磅
尺寸：3.75 × 3.75 × 0.35 英寸
包装数量：10 件
产品应用
ulvac 和 sloan qcm 系统中的薄膜监测
高温沉积工艺（ald、cvd、ovpd）
高热辐射暴露环境
需要高精度和稳定性的工艺
