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coherent准分子激光器lambda sx c600
  • coherent准分子激光器lambda sx c600

coherent准分子激光器lambda sx c600 -加拿大28

  • 品牌:coherent
  • 型号:lambda sx c600
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产品介绍

lambda sx 工业准分子激光器系列为生产车间提供独特的高紫外功率。它能提供高而稳定的脉冲能量,还采用了多项创新技术,具有高性能和可靠性。lambda sx 激光器适合微结构、半导体封装、通过脉冲激光沉积 (pld) 制造高温超导体、激光升降台 (llo) 以及高功率紫外激光雷达等应用。e 系列是准分子激光退火 (ela) 的适配选择。

性能特点

高能量稳定性,确保产量

按需脉冲,实现经济有效的激光起爆

激光数据采集,实现先进的过程控制

密封和净化光束路径,可实现长期稳定运行

用于控制和快速数据采集的以太网接口

选型指南

技术参数

产地:美国

波长:308 nm

max稳定脉冲能量:1000 mj

max稳定平均功率:600 w

max重复率:600 hz

西格玛能量稳定性:≤ 1 %

脉冲持续时间(fwhm):24 ± 4 ns

光束尺寸(fwhm,v x h):35 ± 4 × 14.5 ± 3 mm2

光束发散(全宽,v x h):≤ 4.5 × 1.5 mrad2

max稳定能量下的动态气体寿命:1 亿脉冲

重量:2200 kg;4850 lbs.

冷却:水,3 至 70 l/min;0.8 至 18.5 gal./min

环境温度:12 至 15 ℃

电气:40 kva,三相,400 vac,50/60 hz

尺寸(长 x 宽 x 高):2800 x 850 x 2083 ± 20 mm;110.2 x 33.3 x 82 ± 0.8 英寸

产品尺寸

产品应用

微结构和钻孔、脉冲激光沉积、表面处理


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