lambda sx 工业准分子激光器系列为生产车间提供独特的高紫外功率。它能提供高而稳定的脉冲能量,还采用了多项创新技术,具有高性能和可靠性。lambda sx 激光器适合微结构、半导体封装、通过脉冲激光沉积 (pld) 制造高温超导体、激光升降台 (llo) 以及高功率紫外激光雷达等应用。e 系列是准分子激光退火 (ela) 的适配选择。
高能量稳定性,确保产量
按需脉冲,实现经济有效的激光起爆
激光数据采集,实现先进的过程控制
密封和净化光束路径,可实现长期稳定运行
用于控制和快速数据采集的以太网接口
产地:美国
波长:308 nm
max稳定脉冲能量:1000 mj
max稳定平均功率:600 w
max重复率:600 hz
西格玛能量稳定性:≤ 1 %
脉冲持续时间(fwhm):24 ± 4 ns
光束尺寸(fwhm,v x h):35 ± 4 × 14.5 ± 3 mm2
光束发散(全宽,v x h):≤ 4.5 × 1.5 mrad2
max稳定能量下的动态气体寿命:1 亿脉冲
重量:2200 kg;4850 lbs.
冷却:水,3 至 70 l/min;0.8 至 18.5 gal./min
环境温度:12 至 15 ℃
电气:40 kva,三相,400 vac,50/60 hz
尺寸(长 x 宽 x 高):2800 x 850 x 2083 ± 20 mm;110.2 x 33.3 x 82 ± 0.8 英寸
微结构和钻孔、脉冲激光沉积、表面处理
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