产品介绍
npp-1纳米测量与定位平台可在约100毫米的范围内进行定位。用于控制的激光干涉仪具有高分辨率，定位机构的刚性结构、定位系统的空气轴承轴以及经过优化的控制系统，使得运动的位置偏差和路径保真度均小于2 nm（均方根值）。被测物体直接放置在移动镜上。通过干涉测量法检测该镜的位置和旋转。该系统采用 sp-di/f 系列超稳定干涉仪。来自稳定激光器的光通过光纤从电子单元传输至干涉仪头。这使得 npp-1 具有紧凑且温度稳定的设计。该平台负载能力高达5 kg，即使较大较重的物体也能通过该平台实现高精度定位。npp-1纳米定位系统的设计原理具有可扩展性，因此可根据需求进行定制。
性能特点
用于原子力显微镜（afm）的平面激光干涉测量与定位系统
2.5d定位与测量系统
测量与定位范围：表面直径100 mm
横向测量分辨率 ≤ 0.02 nm
控制：3个光纤耦合差分干涉仪
采用633 nm波长的氦氖（hene）激光器作为干涉仪的光源，确保计量重复性。
原子力显微镜作为探测测量系统，其他类型可按需求提供
开放式设备架构支持应用客户定制的传感器
npp-1 通过 pc 软件进行控制。提供用户 api。
产品结构与细节
可选功能与配件
afm（可能的选项）
晶圆夹持可选陶瓷
其他接口可按需求提供
电缆长度可选10 m
技术参数
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产地 |
德国 |
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定位测量范围 |
面积 ø 100 mm |
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横向测量分辨率 |
≤ 0.02 nm |
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重复性 |
˂ 2 nm |
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rz 方向行程范围 |
max 60 角秒，零点控制 |
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计量溯源性 |
3 台光纤耦合差分激光干涉仪 |
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激光波长 |
633 nm |
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激光频率稳定性 |
˂ 2 × 10-8 |
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定位速度 |
20 mm/s |
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均方根伺服误差 |
˂ 2 nm rms |
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反射镜基体 |
zerodur 或石英 |
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晶圆夹持 |
晶圆夹头 |
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负载能力 |
5 kg |
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定位模式 |
点对点，路径生成器 |
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介质 |
压缩空气 6 bar，经过滤、干燥、脱油处理 |
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标准接口 |
rs232c、usb |
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电缆长度 |
3 m |
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电源 |
100 至 240 vac / 47 至 63 hz |
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尺寸（宽×深×高） |
820 × 710 × 800 mm |
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重量 |
300 kg |
产品应用
研发、校准、机械工程、光学与半导体行业、纳米计量学、地球科学等领域
