01品牌简介
phillip technologies是美国colnatec膜厚监测系统的独家经销商,专注于为薄膜涂层领域提供优质产品与服务。公司以“以具有竞争力的价格提供石英晶振和膜厚监测系统,并提供快速简便的购买体验”为使命,销售涵盖替换石英监控晶体、colnatec薄膜监控器和控制器等产品,所有石英晶体监控器(qcm)均在美国南卡罗来纳州十万级洁净室设施中制造,是客户获取薄膜涂层必需品的首选来源。
02核心产品
1.石英监控晶体(qcm):包括5 mhz和6 mhz两种频率,覆盖inficon、balzers、ulvac等类型的替换晶体,具体分为低温/低应力(如6 mhz金晶体)和高温/高应力(如合金rc晶体)选项,最高温度额定值达500℃。
2.colnatec薄膜监控器和控制器:作为美国独家经销商,提供colnatec品牌的薄膜监控与控制设备。
3.tempe膜厚传感器系统:colnatec旗舰系统,可在40-500℃温度范围内运行。
03产品介绍
1.“balzers-style” 5 mhz rc 石英晶体 – 14 毫米,单锚,高温额定
产品介绍:这些5.000 mhz rc(辐射补偿)at切 quartz晶体针对需要在热和工艺应力下具有卓越稳定性的高性能沉积系统进行了优化。由phillip technologies制造,具有单锚电极图案,并且完全兼容balzers、evatec以及使用这种配置的其他传统传感器头。
能够在温度范围高达300°c的环境中运行,rc 晶体消除了标准石英在热辐射、等离子体暴露或强溅射条件下常见的虚假速率峰值和测量不稳定现象。
2.“inficon-style” 6 mhz at-cut 石英晶体 – 14 mm
产品介绍:由phillip technologies设计和制造的这些6.000 mhz at-cut石英晶体在薄膜沉积系统中提供高频率稳定性和精确性能。采用双锚电极布局,它们与inficon、maxtek、sigma instruments、sycon及其他使用这种行业标准配置的控制器完全兼容。
具有14毫米直径,且频率响应干净可靠,这些晶体非常适合用于真空镀膜、光学监测以及在半导体、光子学和先进材料应用中的通用薄膜生长。
3.phoenix™ 高温膜厚传感器,带集成热电偶
产品介绍:phoenix™ 高温膜厚传感器专为在传统传感器失效的极端温度环境中表现出色而设计。phoenix 专为高通量过程(如 ald、cvd 和 ovpd)设计,可在单一集成系统中提供稳定、精确和耐用的性能。
温度引起的频率漂移——在标准传感器头中通常被忽视——在激进沉积过程中成为关键故障点。phoenix 直接使用高精度嵌入式k型热电偶在源处测量晶体温度,使沉积腔在高达500°c的温度下运行时能够实时校正速率、厚度和频率。当与colnatec的eon-lt™或eon-id™控制器配合使用时,用户可以完全监控并校正至0.001 hz。
04核心优势
1.独家代理colnatec,提供行业领先的高温膜厚监测技术。
2.tempe传感器具备自清洁烘烤循环,显著延长使用寿命,减少停机时间。
3.qcm产品覆盖全温区(最高温度可至500°c),满足多样化工艺需求。
4.美国本土洁净室生产,严格品控,确保高精度与长期稳定性。
5.高性价比 快速供货,提供便捷的一站式采购体验。
05应用领域
主要应用于薄膜涂层生产流程,服务于需要适配不同温度(40-500℃)、不同应力环境(低应力/高应力)的工艺场景,通过提供高精度监控与控制设备,提升生产流程效率与稳定性,减少因晶体故障导致的中断。
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