产品介绍
mott gasshield 气体扩散器可提供均匀且层流的气体流，更大限度地减少颗粒扰动。它们能有效去除大于 0.0015 μm 的颗粒，从而提高晶圆质量，且使用寿命超过 6,000,000 个循环，是半导体制造领域的可靠之选。
性能特点
适用于任何系统设计的流量/压降曲线和过滤效率
气体兼容性考量
气体扩散器设计专长
流体建模
量身定制适合应用场景的气体扩散器加拿大28的解决方案
选型指南
可选功能与配件
可提供定制的过滤介质、气体扩散器、压力容器以及管件材料和配置
技术参数
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产地 |
美国 |
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max工作压力 |
60 psig；4.2 barg |
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无o型圈惰性气体max工作温度 |
860 ℉；460 ℃ |
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带o型圈惰性气体max工作温度 |
212 ℉；100 ℃ |
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max压差 |
75 psid；5.0 bar |
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金属部件 |
316l 不锈钢或 22 号合金 |
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过滤介质 |
316l 不锈钢纤维或 22 号合金 |
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表面粗糙度 |
10 ra |
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颗粒去除尺寸 |
≥ 0.0015 μm |
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颗粒脱落 |
根据 semi f43-0308 测试方法，背景值（<1 颗粒/ft³）以上无颗粒贡献 |
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使用寿命 |
5 年；3,000,000 个循环 |
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iso nw50 出口连接 |
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接头类型 |
¼ "外螺纹旋转接头；端面密封 |
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进气接口 |
¼ "外螺纹旋转接头 vcr |
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出气接口 |
iso nw50 |
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o型圈材料 |
viton |
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o型圈尺寸 |
2-229 |
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o型圈槽内径 |
2.36 "；59.9 mm |
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o型圈槽外径 |
2.67 "；67.9 mm |
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o型圈槽深度 |
0.102 "；2.6 mm |
产品尺寸
产品应用
负载锁腔室、转移腔室、冷却腔室、工艺腔室
