产品介绍
mott的高纯度多孔陶瓷（包括定制多孔陶瓷和氧化铝陶瓷）经过专门设计，具有可调节的孔隙率和孔径，以满足特定的介电击穿、机械强度和流动性要求。我们用于降低污染的高纯度氧化铝（纯度高达99.999%）陶瓷部件，在恶劣环境下具有高耐热性、电绝缘性、抗等离子体性能及惰性。我们的高纯度陶瓷技术（包括莫特陶瓷插头）可结合传统制造和3d打印技术，根据您的独特应用需求进行定制。我们的传统多孔陶瓷材料可加工成各种形状，从小型的多孔陶瓷管或套管到圆盘、板片或其他形状。对于复杂几何形状，我们的3d打印工艺能够为半导体器件制造应用中所需的关键特征（如静电吸盘用插头（e-chuck陶瓷））提供高精度和高重复性。在洁净室环境中，采用纯净的原材料制造这些高纯度多孔陶瓷，可确保其具有高洁净度。陶瓷固有的特性，如高温稳定性、强硬度、耐腐蚀性、较小的热膨胀系数以及高熔点，使其成为半导体及其他高纯度应用中滤芯、流量塞、绝缘体、基板和封装等部件的材料。
性能特点
为高纯度应用提供
可按照需求进行定制
纯度、介电强度和完整性的创新型
多孔及多孔-固体混合产品
高可靠性
洁净室环境制造和3d打印能力
适用于任何设计的流量/压降曲线和过滤效率
气体兼容性考量
产品结构与细节
可选功能与配件
可提供定制的过滤介质、压力容器以及管件材料和配置
几何形状：套管式多孔塞；小管/衬套；板；圆盘
技术参数
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产地 |
美国 |
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助熔剂 |
根据客户需求定制 |
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介电强度范围 |
0.5 至 2.0 kv/mm |
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流量范围 |
0.5 sccm 至 40 slpm |
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通量范围 |
0.010 至 500 slpm/cm² |
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材料纯度 |
高达99.999 %（5n） |
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材质 |
氧化铝 |
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孔隙率 |
10 至 65 % |
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孔径 |
0.1 至 60 μm |
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直径 |
0.5 至 55 mm |
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长度 |
0.5 至 100 mm |
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直径公差 |
± 0.05 mm |
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长度公差 |
± 0.05 mm |
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倒角公差 |
± 0.127 mm |
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圆角公差 |
± 0.127 mm |
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洁净度与颗粒脱落 |
可提供测试 |
产品应用
静电吸盘导管和输送系统、高纯度气体扩散、高温液体过滤、半导体晶圆基板、cvd设备部件、电子元件和基板、气体流量塞和接口
