产品介绍
mott gasshield 表面安装过滤器为半导体 oem 设备中使用的集成气体系统提供 0.0015 μm 过滤性能。这些 gasshield 表面安装过滤器专为无缝适配 1.125 英寸和 1.5 英寸的四螺栓表面安装气体分配系统而设计，同时提供 c 型密封和 w 型密封两种配置。它们兼容多种惰性气体以及大多数特种气体。
性能特点
几乎适用于任何系统设计（包括需要为半导体oem设备配备表面安装式过滤器的系统）的流量/压降曲线及过滤效率
气体兼容性考量
定制加拿大28的解决方案
流体建模
量身定制适合特定应用
选型指南
可选功能与配件
可提供定制的过滤介质、压力容器以及接头材料和配置
可提供定制材料
技术参数
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产地 |
美国 |
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max工作压力 |
1800 psig；124.1 barg |
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额定流量 |
20 至 50 slpm |
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惰性气体max工作温度 |
460 ℃ |
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max压差 |
500 psid；34.4 bar |
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与介质接触部件表面粗糙度 |
5 ra |
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颗粒去除尺寸 |
≥ 0.0015 μm |
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氦气泄漏率 |
1 × 10-9 atm cc/sec |
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水分贡献 |
根据 semi f27 测试方法，在低流量环境吹扫 1 小时后 <10 ppb |
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总烃 |
根据 semaspec 90120396b 测试方法，低于检测限 |
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颗粒释放量 |
根据 semi f43-0308 测试方法，背景值（<1 颗粒/ft³）以上颗粒贡献为零 |
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安装类型 |
c 型密封 |
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过滤材料 |
镍 |
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外壳材料 |
316l 不锈钢 |
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过滤器设计 |
1.125 " |
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总高度 |
1.6 至 4.0 " |
产品尺寸
产品应用
适用于配备 w 型密封圈和 c 型密封圈的 1.125 英寸和 1.5 英寸表面安装式模块化气体输送系统
