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产品介绍
这些 5,000 mhz rc（辐射补偿）at 切割石英晶体经过优化，适用于需要在热应力和工艺应力下保持高稳定性的高性能沉积系统。它们由 phillip technologies 制造，采用单锚电极图案，并与 balzers、evatec 以及其他采用此配置的传统传感器头完全兼容。rc 晶体可在高达 300°c 的温度范围内工作，可消除标准石英在热辐射、等离子体暴露或腐蚀性溅射条件下常见的误报率尖峰和测量不稳定性。
性能特点
- 热稳定性高达 300°c
- 消除快门打开和等离子点火引起的错误速率尖峰
- 不受薄膜应力和热致频率漂移的影响
- 与使用全接触支架的传统 qcm 系统兼容
可选功能与配件
选择适合您工艺环境的材质：
金 (au)：抗腐蚀和活性物质性能；在热负荷下性能可靠
银 (ag)：q 值高（max）；适用于清洁、高精度真空工艺
铝 (al)：与石英具有好的热兼容性；在铝基或高温沉积中表现良好
所有涂层均采用真空沉积，并经过边缘完整性和厚度均匀性检测。
技术参数
产地：美国
材质：纯二氧化硅单晶，电子级石英
尺寸：外径 0.550 " 0.000/- 0.002 "
轮廓：平凸
表面处理：平面和轮廓面粗糙度均方根值 7 微米
缺陷：直径 13.95 毫米的通光孔径内无碎片、划痕或蚀刻痕迹
电极：“balzers”图案化合金
谐振频率：4.960-4.975 mhz，基波串联谐振
电阻：<40 欧姆，镀层
接触电阻：<10 欧姆（图案侧边到边）
杂散模式：first非谐波 >150 khz 高于基波
电极错位：无
颜色不均匀：无
图案偏离中心：无
划痕、磨损或蚀刻痕迹：无
碎片或裂纹：无
产品应用
高温薄膜沉积（ald、cvd、溅射）
balzers、evatec 及类似平台的传统 qcm 探头
需要速率稳定性和热弹性的环境
光学镀膜、半导体、先进材料
生产和研发中的qcm 计量
